Chuck tĩnh điện
+
  • Chuck tĩnh điện

Video sản phẩm

Tổng quan sản phẩm

Tính năng sản phẩm

Đặc điểm sản phẩm kẹp tĩnh điện:

Ứng dụng: Quy trình quang khắc, quy trình ăn mòn, quy trình lắng đọng màng mỏng, quy trình tiêm ion;
Chất liệu:
1. Vật liệu gốm bề mặt: gốm nitrua nhôm, gốm oxit nhôm;
2. Vật liệu điện cực: thường sử dụng vật liệu kim loại, như đồng, nhôm, cũng có thể mạ một lớp kim loại hoặc hợp kim chịu ăn mòn và chịu nhiệt cao;
Kích thước: phù hợp với wafer 4 inch, 6 inch, 8 inch và 12 inch.

Thông số kỹ thuật sản phẩm

Ưu điểm sản phẩm

Lĩnh vực ứng dụng

Sản phẩm được đề xuất

Câu hỏi thường gặp

Tin nhắn trực tuyến

Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi, vui lòng để lại email của bạn để nhận báo giá miễn phí, cảm ơn bạn!

Gửi tin nhắn