Đĩa hút chân không gốm vi mao/đĩa chở

HAPOIN

Đĩa hút chân không gốm vi mao/đĩa chở


Đĩa hút chân không gốm vi mao/đĩa chở
+
  • Đĩa hút chân không gốm vi mao/đĩa chở

Video sản phẩm

Tổng quan sản phẩm

Tính năng sản phẩm

Tổng quan về đĩa hút chân không gốm vi mao HAPOIN / đĩa đỡ:

Ứng dụng:

Trong ngành công nghiệp bán dẫn, trong quá trình làm mỏng, định hình, cắt lát, mài, rửa wafer, bàn làm việc được bố trí và cố định bằng giá đỡ cố định;

Thông qua quá trình nung ở nhiệt độ cao tạo ra nhiều cấu trúc gốm đặc hoặc rỗng liên kết hoặc đóng kín đồng đều bên trong vật liệu, dùng lực hút chân không để cố định các vật liệu bán dẫn;

Vật liệu:

Mặt bàn làm việc: là gốm oxit nhôm, bên trong có cấu trúc rỗng, sử dụng áp suất âm tác động lên nền đa lỗ để hút và cố định vật được hút;

Đế và khung viền: vật liệu lựa chọn: hợp kim nhôm, thép không gỉ, gốm, v.v.;

Ưu điểm:

1. Độ cứng cao 2. Tản nhiệt nhanh 3. Chịu mài mòn 4. Chịu axit và kiềm, khả năng chống ăn mòn mạnh, thích ứng với môi trường cực kỳ khắc nghiệt;

Thông số cơ bản của sản phẩm:

Đĩa hút chân không gốm vi mao có độ phẳng và song song cao, phân bố lỗ vi mao đều, độ thoáng khí tốt, lực hút đồng đều, bề mặt mịn màng;

Đối tượng gia công: wafer kích thước 2, 3, 4, 5, 6, 8, 12 inch và các loại wafer tùy chỉnh không tiêu chuẩn;

Phạm vi kích thước: 85mm-8800mm, kích thước lỗ vi mao: 20-60um, tỷ lệ lỗ khí: 30-50%;

Có thể thiết kế và tùy chỉnh các loại đĩa hút không tiêu chuẩn theo yêu cầu khách hàng.

 

Thông số kỹ thuật sản phẩm

Ưu điểm sản phẩm

Lĩnh vực ứng dụng

Sản phẩm được đề xuất

Câu hỏi thường gặp

Tin nhắn trực tuyến

Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi, vui lòng để lại email của bạn để nhận báo giá miễn phí, cảm ơn bạn!

Gửi tin nhắn