Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn

Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn


Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn
+
  • Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn

Video sản phẩm

Tổng quan sản phẩm

Tính năng sản phẩm

Độ tinh khiết vật liệu: 99.7%, 99.8%, 99.9% oxit nhôm.

Phương pháp gia công: Ép đẳng tĩnh, nung kết, gia công chính xác, v.v.

Kích thước:

  • Đường kính đĩa: trong phạm vi φ650mm
  • Thanh dài: tối đa 2000mm

Độ chính xác:

  • Dung sai kích thước: ±0.01mm
  • Độ phẳng tối đa: 0.002mm

Độ nhám bề mặt: Ra0.2

Ứng dụng: Bộ phận cấu trúc buồn dẫn được làm từ gốm sứ bán dẫn và alumina ceramic được ứng dụng trong các bộ phận quan trọng trong buồng PVD, CVD, ETCH của quy trình bán dẫn.

Ưu điểm của Bộ phận cấu trúc buồng bán dẫn:

  • Khả năng chống ăn mòn
  • Hiệu suất cách điện tuyệt vời
  • Khả năng chống plasma


 

Thông số kỹ thuật sản phẩm

Ưu điểm sản phẩm

Lĩnh vực ứng dụng

Sản phẩm được đề xuất

Câu hỏi thường gặp

Tin nhắn trực tuyến

Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi, vui lòng để lại email của bạn để nhận báo giá miễn phí, cảm ơn bạn!

Gửi tin nhắn