Máy dán màng cắt wafer tự động hoàn toàn (con lăn) Wafer Mounter

SINTAIKE

STK-7200R


Máy dán màng cắt wafer tự động hoàn toàn (con lăn) Wafer Mounter
+
  • Máy dán màng cắt wafer tự động hoàn toàn (con lăn) Wafer Mounter

Video sản phẩm

Tổng quan sản phẩm

Tính năng sản phẩm

Máy cắt và dán màng wafer tự động hoàn toàn STK-7200R_SINTAIKE (con lăn) đặc điểm:

Tự động hoàn toàn việc xếp dỡ wafer/khung:

Cánh tay robot vận chuyển wafer nhập khẩu từ Nhật Bản, hệ thống căn chỉnh wafer;

Dán màng wafer tự động hoàn toàn:

Kẹp wafer mạ Teflon chống tĩnh điện tiêu chuẩn ESD;

Hỗ trợ quy trình DBG: dán màng rồi bóc màng BG;

Hành động dán màng: tự động kéo màng và dán màng;

Bàn wafer: bàn tiếp xúc phủ Teflon chống tĩnh điện đa năng (liền khối); hoặc bàn silicon; hoặc bàn gốm;

Nếu cần thông số chi tiết, xin vui lòng liên hệ với chúng tôi.

Thông số kỹ thuật sản phẩm

Thông số kỹ thuật Máy gắn con lăn wafer tự động hoàn toàn STK-7200R:  

Kích thước wafer:

Đường kính: 6” 、8.

Độ dày wafer:

150 ~ 725 um.

Vật liệu wafer:

Si, SiC.

Loại wafer:

Đơn phẳng, đôi phẳng hoặc V-Notch.

Loại băng keo:

Băng keo xanh hoặc băng keo UV.

Chiều rộng: 230, 300 mm, Chiều dài: 100 m; Độ dày: 0.05 ~ 0.2 mm.

Loại khung:

6” DISCO hoặc K&S, 8” DISCO hoặc K&S; hoặc theo yêu cầu khách hàng.

Nguyên lý gắn.

Gắn bằng con lăn.

Độ chính xác vị trí wafer.

X-Y: +/- 0.1 mm    Θ: +/- 0.1°.

Đầu vào & Đầu ra:

Cassette wafer đầu vào kép / Cassette khung đầu ra đơn.

Kiểm soát ESD:

Con lăn ESD / Kẹp wafer ESD / Quạt ion ESD.

Chuyển wafer:

Robot đa trục ngang với đầu hút chân không hoặc đầu kẹp Bernoulli.

Bản đồ thông minh vị trí & biến dạng wafer trong cassette.

Căn chỉnh wafer:

Cảm biến sợi quang để căn chỉnh wafer.

Bộ điều khiển:

Máy tính công nghiệp tiêu chuẩn với màn hình cảm ứng LCD 17” / Hệ điều hành Windows.

Nguồn điện:

Điện AC một pha 220 V, 25A.

Nguồn khí:

5.0 Kgf/cm2 CDA, 150 L/phút.

Cấu trúc máy:

Làm bằng khung nhôm nguyên khối.

Kích thước:

1750 mm (Rộng) × 1350 mm (Sâu) × 1800 mm (Cao).

Trọng lượng tịnh:

870 Kg.

 

Ưu điểm sản phẩm

Lĩnh vực ứng dụng

Sản phẩm được đề xuất

Câu hỏi thường gặp

Tin nhắn trực tuyến

Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi, vui lòng để lại email của bạn để nhận báo giá miễn phí, cảm ơn bạn!

Gửi tin nhắn