Cánh tay robot dạng trục trụ ba trục chân không
JEL
SVCR3260
Video sản phẩm
Tổng quan sản phẩm
Tính năng sản phẩm
Đặc điểm của cánh tay cơ khí JEL SVCR3260 cho wafer:
Cánh tay cơ khí chân không 3 trục dạng tọa độ trụ SVCR3000. Phù hợp để vận chuyển wafer trong buồng chân không;
So với dòng cánh tay cơ khí SVHR, khả năng vận chuyển tăng gấp đôi, có lợi thế về hiệu quả chi phí;
Ngoài ra còn giữ được tính tương thích với dòng cánh tay cơ khí SVHR, thuận tiện cho khách hàng nâng cấp thiết bị;
Chiều dài cánh tay tiêu chuẩn của cánh tay cơ khí: 160mm, 190mm, 260mm, 330mm;
Sử dụng thiết bị kín từ tính tại khớp cánh tay;
Kín chân không: thiết bị kín từ tính và ống sóng;
Phương pháp nâng cao độ sạch: lắp bộ lọc cấp 5µm tại cửa thoát khí bên trong cánh tay;
Trang bị bộ giám sát chuyển động:
Phương thức giao tiếp điều khiển: RS232C và cổng I/O song song;
Toàn bộ trục sử dụng động cơ bước 2 pha:
Phương thức điều khiển tăng giảm tốc đường cong S có thể vận chuyển wafer bán dẫn với tốc độ cao và độ chính xác cao;
Có thể lựa chọn động cơ bước 2 pha với các thông số kỹ thuật khác nhau:
Chất liệu ngón tay: CFRP (sợi carbon), hợp kim nhôm, gốm tinh khiết cao và nhiều chất liệu khác để lựa chọn;
Phương thức cố định wafer: kiểu đỡ dưới, kẹp mép dựa vào trọng lượng bản thân của wafer;
Có thể cung cấp ngón tay phù hợp với vật vận chuyển và bố trí thiết bị thực tế của khách hàng.
Thông số kỹ thuật sản phẩm
| Môi trường sử dụng | Bộ phận chân không: Nhiệt độ 15℃～50℃ Bên trong cấu trúc truyền động: Môi trường khí quyển trong phòng sạch Nhiệt độ 15℃～40℃ |
| Cánh tay | Cánh tay đơn |
| Khoảng cách với điểm đến | 520mm (Khoảng cách từ trung tâm khớp thứ 3 của cánh tay đến điểm đến) |
| Hành trình tối đa của trục nâng hạ | 20mm / 40mm |
| Khối lượng có thể vận chuyển | 2kg (Tiêu chuẩn tại khớp thứ 3 của cánh tay) |
| Mã sản phẩm | Hành trình tối đa của trục nâng hạ |
| SVCR3260-020-PM | 20mm |
| SVCR3260-040-PM | 40mm |
Ưu điểm sản phẩm
Lĩnh vực ứng dụng
Sản phẩm được đề xuất
Câu hỏi thường gặp
Tin nhắn trực tuyến
Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi, vui lòng để lại email của bạn để nhận báo giá miễn phí, cảm ơn bạn!
OUTLETS
CHI NHÁNH CÔNG TY
Trụ sở chính Thượng Hải
Công ty TNHH Phát Triển Doanh Nghiệp Hapoin Thượng Hải
Địa chỉ: Tòa nhà 6, Vườn Đại đô thị phía Nam, số 1165, đường Jindu, quận Minhang, Thượng Hải
Hotline tư vấn:+86 150 2686 5822
Email:info@hapoin.com
Công ty Thâm Quyến
Công ty TNHH Công nghệ Thâm Quyến Hapoin Ruihe
Địa chỉ: Phòng 302, Tầng 3, Tòa nhà B, Khu công nghệ cao Kaicheng, đường Dalang, quận Longhua, Thâm Quyến
Hotline tư vấn:+86 0755 2223 2285
Email:sales@hapoin.com
Công ty Hồng Kông
CÔNG TY TNHH HAPOIN ENTERPISE
Địa chỉ: Số 917A, Tầng 9, Tòa nhà A, Quảng trường Mandarin Mới, số 14 đường Bảo tàng Khoa học
Điện thoại:+00852 61187991
Email:sales@hapoin.com
Công ty Việt Nam
Công ty TNHH Hapoin Việt Nam
Địa chỉ: Tầng 6, tòa nhà CTM, 139 đường Cầu Giấy, phường Cầu Giấy, Hà Nội, Việt Nam
Điện thoại:+84 398 848 969
Email:sales@hapoin.com
Công ty Nhật Bản
Công ty TNHH Hapoin Nhật Bản
Địa chỉ: Tầng 6, 2-3-8 Iwamotocho, Chiyoda-ku, Tokyo
Điện thoại:+81 070 9356 1267
Email:sales@hapoin.com
Trung tâm vận hành Côn Sơn
Trung tâm vận hành Côn Sơn - Tập đoàn Hapoin
Địa chỉ: Tầng 10, Tòa nhà B, Quảng trường Hiện đại, số 8, đường Weiye, thị trấn Yushan, thành phố Côn Sơn
Hotline tư vấn:+86 150 2686 5822
Email:sales@hapoin.com
Công ty Đài Bắc
Công ty TNHH Hóa chất Lianying
Địa chỉ: Số 14, Ngõ 3, Ngách 250, Mục 2, đường Huanhe Nam, Đài Bắc 10853
Điện thoại:+886 02 2336 2202
Email:sales@hapoin.com
Văn phòng Bắc Kinh
Văn phòng Bắc Kinh - Tập đoàn Hapoin
Địa chỉ: Phòng 306, Tòa nhà 4, Trung tâm Phương Đông, phía Bắc Zhihe Tây, quận Triều Dương, Bắc Kinh
Điện thoại:+86 150 2686 5822
Email:sales@hapoin.com
Số điện thoại liên hệ
Địa chỉ trụ sở chính
Số 6, Khu vườn Đại đô thị phía Nam, Số 1165, Đường Jindu, Quận Minhang, Thượng Hải
Theo dõi tài khoản chính thức
Theo dõi tài khoản video
