Cánh tay robot vận chuyển wafer loại tọa độ trụ 3 trục chống thấm nước

JEL

SWCR3160CS


Cánh tay robot vận chuyển wafer loại tọa độ trụ 3 trục chống thấm nước
+
  • Cánh tay robot vận chuyển wafer loại tọa độ trụ 3 trục chống thấm nước

Video sản phẩm

Tổng quan sản phẩm

Tính năng sản phẩm

Đặc điểm của cánh tay cơ khí JEL SWCR3160CS wafer:

Cánh tay cơ khí tọa độ trụ 3 trục chống nước dòng SWCR3000 (được trang bị cơ cấu lật wafer 300mm + cơ cấu kẹp mép);

Dưới điều kiện quy trình sản xuất bán dẫn LSI với cấp bảo vệ IP64, có thể vận chuyển wafer bán dẫn trong môi trường axit và kiềm;

Phần cánh tay được phủ lớp Teflon để đảm bảo khả năng chống ăn mòn;

Cấu trúc chống nước ở khớp cánh tay sử dụng vòng đệm chữ V;

Mặt kết nối giữa các bộ phận sử dụng gioăng làm kín chất liệu Viton;

Cấu trúc chống nước của trục Z có thể sử dụng ống gập;

Trang bị bộ giám sát hoạt động:

Phương thức truyền thông điều khiển: RS232C và cổng I/O song song;

Toàn bộ trục sử dụng động cơ bước 2 pha;

Phương thức điều khiển tăng giảm tốc đường cong S có thể vận chuyển wafer bán dẫn với tốc độ cao và độ chính xác cao;

Phương thức cố định wafer: hút chân không, đỡ dưới, kẹp mép;

Có thể cung cấp ngón tay phù hợp với vật vận chuyển và bố trí thiết bị của khách hàng.

Thông số kỹ thuật sản phẩm

Môi trường sử dụng Môi trường khí trong phòng sạch
Cánh tay Một cánh tay
Khoảng cách tiếp cận 312mm (Khoảng cách từ khớp thứ 3 của cánh tay đến điểm tiếp cận)
Hành trình tối đa của trục nâng hạ 200mm / 300mm
Khối lượng có thể vận chuyển Dưới 3kg (Tại khớp thứ 3 của cánh tay làm chuẩn)
Mã sản phẩm Hành trình tối đa của trục nâng hạ
SWCR3160CS-200-PM200mm
SWCR3160CS-300-PM300mm

Ưu điểm sản phẩm

Lĩnh vực ứng dụng

Sản phẩm được đề xuất

Câu hỏi thường gặp

Tin nhắn trực tuyến

Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm của chúng tôi, vui lòng để lại email của bạn để nhận báo giá miễn phí, cảm ơn bạn!

Gửi tin nhắn